我国对变压吸附制氧技术的开发起步较早，从1966年开始研究沸石分子筛分离空气制氧技术；20世纪70年代PSA分离空气制氧在钢铁、冶炼和玻璃窑等工业领域已经得到了广泛的应用。20多年来，由于技术力量分散，相互之间缺少联络，PSA变压吸附制氧系统，我国的变压吸附制氧技术发展缓慢，同国外的差距越来越大。20世纪70年代是我国PSA分离空气制氧技术发展的鼎盛时期，***有十几个单位相继开展了变压吸附制氧技术的实验研究，建立了数套工业试验设备。
变压吸附制氧机
制氧机，生产氮气（或液氮）和、-氦、-氙等混合气体的一种成套设备。在一般情况下，空气分离设备多用来生产氧气。
变压吸附真空解吸制氧机(简称VPSA制氧机)，即穿透大气压 的条件下，利用VPSA专用分子筛选择性吸附空气中的氮气、二氧化碳和水等杂质，在抽真空的条件下对分子筛进行解吸，从而循环制得纯度较高的氧气(90~94%)。VPSA能耗较低，设备越大其能耗越低。
变压吸附制氧机工艺特点：
1、 能耗比较低。产氧量越大，能耗也降低。
2、 维护成本低，动设备为罗茨鼓风机和罗茨真空泵，因其工作原理都为容积式，变压吸附制氧机，无油，小型变压吸附制氧机，极易维护。
3、 整套设备的自动化程度高，动设备与制氧机是同步控制，只需按一下启动按钮，整套设备即可正常运行。
4、适合于中大型产量。-----------------------------------
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