氦质谱检漏仪
因此所有的真空部件在出厂时都要测试泄漏率指标。通常情况下，真空部件的泄漏检测都是应用氦质谱检漏，检漏时构造一个临时的密闭空间，利用氦质谱检漏仪抽空后喷氦查找漏点（泄漏指标异常处）。氦质谱检漏仪操作简单，响应快，精度高，将真空波纹管一端连接到氦质谱检漏仪的检漏口上，另一端连接到气瓶夹层
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氦质谱检漏仪
按检漏仪上的“开始”按键，检漏仪开始对气瓶夹层进行抽空。达到检测条件后，用喷枪将分别在气瓶内胆和外胆喷吹氦气，如产品存在泄漏，氦气会进入到夹层内部，进而被抽入检漏仪内，而被检测到，超过设定报警值，检漏仪会显示漏率并发出声光报警，提示不合格。
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氦质谱检漏仪逆扩散原理
将被检件与仪器检漏口联接抽真空，在被检件外面罩以充满氦气的容器，如被检件有漏孔，氦气便由漏孔进入被检件，终达到质谱管被检测。所测漏率是被检件的总漏率，不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。可以看出钟罩法是基于喷吹法的一种检漏方法。
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