真空箱法氦质谱检漏的原理与系统特点
真空箱法氦质谱检漏的充气回收检漏系统
1．配置与气路控制
真空箱：一般为双工位，两个不锈钢真空箱，开门装置可采用液压方式，或加配重的手动方式。
工件抽空系统：低真空泵及阀门，低真空测量充氮与回收系统：氦气储存罐(高压罐)，氦气回收取罐(低压罐)，主压缩机，辅压缩机，过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。
真空箱抽气系统：为自动控制型，由面板、PLC系统(可编程逻辑控制器)，充氦回收系统，真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计，同时，实施对整个系统的工作控制，对检漏过程和结果显示。
2.系统检测过程
1)、通过v1、V4，泵系统对工件和真空箱抽真空，如果限定的时间内抽到限定的真空度，此时，电气控制系统关闭V1，打开V2
2)、充氦系统通过V2对工件进行充氦至核定的压力，稳定，关闭V2
3)、关闭V4，打开V3、V5，处在正常工作状态待命的氦质谱检漏仪进行检漏，如果不漏，电气控制系统指挥关断V3、V5，打开V2对氦气进行回收。
4)、关闭V2打开V6对真空箱放气，开启真空箱更换工件。
5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件，检漏仪声光报警，将：工作内的氦气回收,对真空箱和管道巾的氦气通过清洁泵抽除，免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。
6)、维持泵有一定的氦分流作用,不宜过大(不超过41),清洁泵也同样。
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几种检漏方法和检漏仪的比较发布
1.水检法
这是***简单的、原始的检漏方法，自行车胎就是采用此种方法。它是将被检工作充上大于大气压的空气。1.0-3.0Mpa)放人水中是否有气泡从工件中冒出来，冒泡的位置就是***的位置，而根据冒泡的速率,泡的速率,泡的大小，大约可估漏率。
2.卤素法
先前一般的制冷器都采用卤化物为冷媒，当灌注冷媒封口以后，用卤素检漏仪的探头在司疑之外寻找漏点，发现漏点就会声光报警，漏点和漏率也就相对确定了。
3．压力哀减法(压差法)
就是将被检工作，利用压缩机或压缩空气(一般1-3Mpa)连接进一个压力表，待充上气后，密封(确保封头不漏)，观察压力表24小时内压力降情况，如有漏则压力降低，但不能判断什么地方漏，漏多少。
当然还有许多其它方法，这些方法灵敏度一般达不到或只能勉强达到***标准，或者说，只能检大漏,有的不能检出漏在哪里，漏多少等弊端。真空氦检漏设备***
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用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
1、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氮信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。
2.氢气有些性能(如质量小、易通过漏孔)比氦还好，然而由于氢一方面有 ***，另- -方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产:大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大,以致灵敏度大大降低，所以很少采用。
