烘箱选型依据及理由 因为烘箱用在光刻工艺， 所以对其的洁净度要求比较高， 同时用于膜的固化 等工艺， 保持片内的均匀性、 温控系统也是要求较高。 烘箱的生产厂家国内和国 外都比较多， 用途也是多元化的， 从价格角度考虑， 则把国内生产的烘箱放在首 位， 因为不论是***服务还是备件购买都会相对容易一些， 价格很低很多。在选购时，选择二根发热管距离在80-120mm的电烤箱，过密或过疏都会导致箱体水平温度偏差。 但光 刻工艺中要求严格控制烘箱产生的颗粒度。
烘箱的加热
从里到外有内腔、内壳、超细玻璃纤维、铝制反射铝箔片、空气夹层，内胆热量损失少。内胆外箱及门胆机构独特，极大减少了内腔热量的外传。箱门内外基本分离，外箱与内胆分离***，所以在高温下外壳也不会发烫。采用数显温控系统，微电脑智能控制，设定温度后，仪表自行控制加热功率，并显示加热状态，控温精1确而稳定。电热鼓风干燥箱电热鼓风干燥箱广泛用于机电、化工、塑料、轻工等行业及科研单位对各种产品、试品进行烘培、干燥、固化、热处理及其它方便的加热。可设定温度、时间。一经设定，加热过程自动进行，不需干预。