洁净度较高的洁净室在车间内装有较低的夹层苯，因此洁净室中包含颗粒的气流会通过活动地板和洁净室地板进入较低的夹层。房间天花板上的过滤器会重新过滤出干净稳定的气流，从而形成循环系统。这使得洁净室的地板必须具有足够的回风孔，以便洁净室的气流将通过该回风孔。清洁区域。此外，它必须具有足够的强度来承受加工机械的重量，并***微振动影响加工质量，因此得出了洁净室地板的特殊设计。目前，高科技工厂的无尘室楼板统称为格子梁楼板。
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它固定在底板上，采用四孔一体模板，比单孔更便于布置、固定和填缝；施工时更有利于保证地面平整度；每个筒壁与底板的连接处设有两个加强筋，结构更加牢固；建筑盖板设置在筒壁的顶部；底板周围设置有垂直的外唇，外唇的边缘设置有天花板螺丝嵌入孔。如有必要，天花板螺钉被嵌入以方便安装。
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该工程为三层厂房结构(局部四层)，总建筑面积约7万平米。建筑无地下室，结构伸缩缝左侧为框架结构，伸缩缝右侧为框剪结构。建筑2~3层4~21轴为洁净度二级(即100级)的洁净房，为满足洁净度要求，4~21轴的3层楼板采用了华夫楼板。
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