退火炉
湘潭华宇电炉制造有限公司是各类工业电炉的***生产厂家，公司湘潭华宇电炉制造有限公司积数十年开发生产工业电炉成套设备的经验，拥有雄厚的技术力量及非标设备的设计、制造能力，产品用户遍布***各地。近几年积累了丰富的不锈钢结构件的加工经验，具有较强的不锈钢结构件的加工能力。
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
真空退火炉技术参数
3.1、炉膛工作区尺寸（室一）： 7000×900×830mm
炉膛工作区尺寸（室二）： 14000×900×830mm
3.2、炉膛额定温度： 950℃
3.3、炉温均匀度： ≤±10℃
3.4、控温精度: ±1℃
3.5、加热功率 : 280Kw/520Kw（0～120%无级可调）
3.6、额定电压： AC380V 50Hz 3N
3.7、控温区数： 520/6区;280/3区
3.8、空炉升温时间： ≤2.5h（炉膛升温和降温可调控）
3.9、满载升温速度： 程序设定无级可控
3.10、炉体表面温升: ≤40℃
真空退火炉
电热元件分布,按炉膛前中后共分6个控温区分布在炉膛内，并局部集中引出，外设防护罩。
该电加热元件具有良好的性能、耐高温、高表面负载，配以合理的元件结构参数设计。该电热元件安装方式牢固,耐用可靠,维护方便,电热元件维修时，均可直接在看得见摸得到的位置进行、焊接、更换。
退火炉燃烧系统
排烟预热装置：在炉后上端安装了排烟预热装置，炉内的烟气通过预热器时，由风机送入冷风进行预热，再由管路送至烧咀进行助燃，并在出口安装一只手动碟阀，该阀可调节炉内压力。广泛应用于化工、石油、食品、冶金、机械、轻工、电力、船舶、造纸、矿山、、集中供热等工业部门的加热、冷却、冷凝、蒸发等工艺过程中。
