废气催化燃烧设备针对中低浓度废气，利用吸附-催化燃烧工艺进行回收净化的过程如下：有机废气经去除粉尘等预处理后，进入装有吸附剂的吸附器，空气得到净化。随着吸附的进行，吸附剂逐渐达到饱和，在与高温热空气的接触过程中，有机废气被脱附下来形成高度浓缩的废气，同时吸附床得到再生。再生后的吸附床又可进行吸附作业。经脱附形成的浓缩废气进入催化燃烧器，生成二氧化碳和水达标排放。
两种工艺都可以用于处理烷烃、芳香烃、酮、醇、酯、醚、部分含氮化合物等有机废气。含硫磷类废气会使催化剂，不适合用RCO处理，而如果忽略含硫磷废气燃烧时对设备仪表的少量腐蚀，可以限制性的使用RTO处理。
由于处理温度均＜1150℃，两种工艺都不能用于处理含卤代烃废气以避免产生。部分类似类的废气因为燃烧后生成的固体尘灰会堵塞催化剂或蓄热陶瓷或切换阀密封面，所以RTO和RCO都不能使用。
销毁技术则是用微生物、热或催化剂等化学或生化反应将有机物分解成无污染的水、二氧化碳等***无害的小分子化合物，包括生物技术、热力焚烧、光催化与催化燃烧技术。
生物技术的实质是微生物在新陈代谢中，将废气中的有机物分解为二氧化碳和水，同时为自己提供能量。但微生物对生存环境要求苛刻，且生化反应的速率比较低。热力焚烧技术是指将废气温度升高至着火点而将VOCs迅速燃烧为无害气体。
