催化剂焚烧炉
催化剂焚烧炉的设计是依废气风量，VOCs浓度及所需知***去除效率而定。操作时含VOCs的废气用系统风机导入系统内的换热器，废气经由换热器管侧(Tube side)而被加热后，再通过燃烧器，这时废气已被加热至催化分解温度，再通过催化剂床，催化分解会释放热能，而VOCs被分解为二氧化碳及水气。之后此一热且经净化气体进入换热器之壳侧(shell side)将管侧未经处理的VOC废气加热，此换热器会减少能源的消耗，后，净化后的气体从烟囱排到大气中。二是针对气态污染物的废气净化气态污染物的控制主要是利用***性质，如溶解度、吸附饱和度、露i点及选择化学反应等的差异，将污染物从废气中分离出来。
电子行业废气危害性：
电子行业废气中含有大量的***物质，如果不对这些废气处理的话，当含***物质漂浮在空气，不但对周边的环境造成污染还会危及人类的身体健康，特别是在电子厂上班的员工，如果长期呼吸这类气体，会对员工肺部有很大影响，造成各种***。
电子行业废气治理方法：
针对电子行业VOCs排放特点采用相应末端治理技术，主要还是吸附法、焚烧法。
吸附法利用多孔性固体吸附剂处理混合气体，吸附剂选择性高，活性炭属非极性吸附剂，对非极性化合物有较强的吸附能力，一般可净化低浓度VOCs，净化效率可达到90%以上。
毒性气体的处理
(1)工作人员处理有***体时，必须穿戴防毒面具、手套等不参与处理工作的人员等防护用品，不得进入气体处理区。
(2)少量有***体须经有关部门同意在偏远地方直接排放，而控制出口的浓度应稀释至容许的排放浓度以下。
(3)用于处理有***体的吸收剂和吸附剂在使用前应确保其有效性。
惰性气体的处理
虽然惰性气体并不***，但大量的惰性气体积聚，会降低周围的氧气含量，从而使人窒息。
(1)在外面的适当地方卸货。
(2)如汽缸或器具是在室内，则可连接排气管，使其在室外缓慢排放