旋片式真空泵机组
旋片真空机组是以泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空机组选用的旋片泵作为前级泵，因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点，而且同时保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率等优点。真空泵故障检测方法真空泵漏油、喷油(1)转轴、油窗、放油孔、油箱等部位的密封圈毁坏或装置不正确。因为该机组的结构紧凑、抽速大、占地面积小，所以可以代替多台机械真空泵,因此旋片泵机组广泛地用于在真空冶炼、电力电容器、变压器真空热处理、真空镀膜设备的预抽、电真空半导体等行业中抽除密闭容器中含氧不高的、无炸性的、对金属无腐蚀性的、与泵油不会起化学反应的也不会含有颗粒尘埃的气体。
而立式无油往复泵机组以ZJ泵为主泵，以WLW型方式无油泵为前级泵串联而成，由于WLW型真空泵采用无油自润滑系统，这样可以获得洁净真空，这样在加装尾气收集装置后，可以收集在高真空系统中无法凝固、无法压缩收集的气体，而又同时避免了水环机组所产生的大量废水的排放而导致污染环境的问题。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用罗茨水环真空机组作为抽真空装置。
真空泵应先开动水环泵
真空泵罗茨泵机组中无旁通阀时，应先开动水环泵，被抽系统中的气体由罗茨泵（气体推进罗茨泵转子自行转动，好像流量计普通）进入水环泵后再排至大气，待水环泵的吸入压力（如串联有大气泵，则为大气泵的吸入压力）到达罗茨泵的起初规则值时（即允许排气压力），始启动罗茨泵，机组正式运转，开端工作。东莞真空泵罗茨泵机组中有旁通阀时，如上图所示，先启动水环泵，接着开动罗茨泵，此时，罗茨泵进排气压差较大，旁通阀自动开启，被抽容器中的气体一局部经过旁通阀进入水环泵，另一局部在罗茨泵的作用下经过该泵也进入水环泵，显然抽气速率增加，这样很快到达罗茨泵的预真空，进排气压差较小，阀门自动关闭（或人工关闭），机组正式工作。国内以半导体、电子工业为代表的制造工艺和科学研究与分析测试行业迫切需要无油污染的真空环境，无油真空泵的研发不仅推动了应用产业的整体素质，还为我国其他清洁真空获得设备提供了有效地借鉴，带动了整个真空获得行业的创新能力和技术标准。这种办法能大大缩短预抽时间，但设备较复杂。
