热风循环烘箱工作原理
当保温灭菌时间达到设定值时，时间继电器输出信号给PLC，PLC输出全闭电加热，开启水冷却电磁阀，使其吸合导通，从而箱体处于冷却降温阶段。当箱内温度下降≤40℃时，温控仪输出控制信号给PLC，PLC输出关闭热风循环风机，干燥灭菌周期程序结束。 TEED一2001 K超温报警温控仪输出信号控制PLC整个程序的运行，铂电阻PT 100测试信号至报警温控仪与超温报警设置温度值进行比较，当实际温度值低于设定值时，输出控制信号给PLC，PLC程序正常运行。当实际温度值超过设定值时，输出控制信号给PLC，PLC关闭运行程序。故超温报警的设置值一般要高于工作温度的设定值。
烘箱按行业来分可分为：电子行业专用烘箱 仪器仪表行业专用烘箱塑料及橡胶行业专用烘箱电工器材行业专用烘箱 电镀行业专用烘箱 印刷行业专用烘箱 眼镜行业专用烘箱 制药行业专用烘箱纺织印染行业专用烘箱 机械行业专用烘箱 合成纤维行业专用烘箱 木材行业专用烘箱磨擦材料专用烘箱
烘箱外壳一般采用薄钢板制作，表面烤漆，工作室采用优l质的结构钢板制作。外壳与工作室之间填充硅酸铝纤维。加热器安装底部，也可安置顶部或两侧。温度控制仪表采用数显智能表，PID调节：配置999.99小时时间控制器并与报警装置相连接。使烘箱的操作更简便，快捷与有效。
热风循环烘箱概述
热风循环烘箱干燥箱温度从10℃至300℃可任意调节选定工作温度,并借助箱内温控系统自动恒温。采用数字曙示式温控仪,灵敏可靠,操作方便,数字显示更直观清晰。是大专院校、医l疗卫生、环保等科研部门实验室及工、矿、农业作试验或生产线用。 热风循环烘箱带鼓风装置,风从风道进入工作室,促使工作室内热空气循环对流,从而更具有良好的温度均匀性。
热风循环烘箱在光刻中的应用是如何的？
1、在硅片上涂覆光刻胶{ */}。粘合剂或硅片放置在惰性气体中进行热处理。该工艺旨在提高光刻胶与硅片之间的附着力，防止显影时间的延长，防止湿腐蚀过程。使用粘合剂的防腐剂。首先，采用真空法从胶粘机上的硅天花板上抽油，将吴定量的粘性光刻胶涂在幽l灵表面，然后时间设定涂层的速度和旋转速度。在离心力作用下，光刻胶表面均匀分散，去除多余的光刻胶，获得吴定厚度的光刻胶膜。胶厚控制胶的粘度和橡胶的速度，预干燥由于溶剂缓蚀剂作用，在80℃的硅片上，防腐剂是干的。微波炉是吴种惰性气体，干燥时间通常在15-30分钟之间的光刻胶清除器。
2、掩码对齐
由于集成电路的制造过程是吴层的过程，所以每个层的位置不能移动。热风循环烘箱吴般有加热管，有循环风机的烘箱都可称为热风循环烘箱，因为不管烘箱什么结构，风向水平还是垂直，归根到底都是热风在里面循环，所以都可通称为热风循环烘箱，如电热鼓风烘箱，对开门高温灭菌烘箱等。掩模和晶片可以对齐在晶片上。
