洁净室中的气流速度规定
这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度，在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。
对于乱流洁净室 由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度，所以主要用换气次数这一概念，而不直接用速度的概念，不过对室内气流速度也有如下要求；
(1)送风口出口气流速度不宜太大，和单纯空调房间相比，要求速度衰减更快，扩散角度更大。
(2)吹过水平面的气流速度（例如侧送时回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返气流，而造成再污染，这一速度一般不宜大干0.2m/s。
洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准，目的在于保障操作正常进行，满足必要的谈话联系及安全舒适的工作环境。因此衡量洁净室的噪声主要指标是：
1．烦恼的效应
由于噪声，使人感到不安宁而产生烦恼情绪，一般分为极安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹，比较吵闹和极吵闹7个烦恼等级。凡反应水平属于很吵闹和极吵闹者，即为高烦恼，高烦恼人数在总人数中的百分比即为高烦恼率。
2．对工作效率的影响
这主要看三方面的反应水平，这三个方面是：集中精神，动作准确性，工作速度。
3．对综合通讯的干扰
这主要分为：清楚或满意，稍困难，困难，不可能。
洁净车间，
如果在十几年前，没听过也不足为怪，但是现在洁净车间已经应用于越来越多的行业，即使不在这种场所下工作，大多人也是听过这个概念的。如今，无论是工业生产，还是科学实验，对室内空气洁净度的要求越来越高，洁净车间已经成为必不可少的基础条件，它可以确保无论外界温度如何变化，其室内空气质量不变。洁净车间可以确保并维持洁净度，在过滤过程中，采用初、中效过滤器外，还会进行过滤，将空气中活的微生物进行消毒，保证车间内空气洁净度
洁净室检测之静电检测与验收
测试目的
静电问题不是只有半导体业才有，其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电，就会变成非常难处理的问题，因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面，若是物体表面带有静电，就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量，依此数据可仿1真物体在该气流场中之残余表面电压。
