氦质谱检漏仪
氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有***，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。氦气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子质量为4.003，分子直径为2.18×10-10m，
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氦质谱检漏仪
在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，临界温度为5.25K，临界压力为2.26×105Pa，1atm压力下的沸点为4.214K，熔点为0.9K，三相点温度为2.186K，三相点压力为51.1×10-2Pa，在标准状态下的热导率为510.79J/(m·h·K)，在标准状态下的定压比热为5233J/(kg·K)，在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5Pa·s，1L液氦气化为标准状态下的氦气体积为700L。
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氦质谱检漏仪
广泛应用电厂汽轮机管路及冷凝器检漏，亦应用于真空焊接炉、真空渗碳炉等热处理炉检漏和高压真空断路器检漏，及汽车工业检漏、燃料电池检漏和消防器材检漏等多种真空检漏领域。另外半导体行业, 灯具制造行业, 制冷、空调行业, 镀膜行业也有氦质谱检漏仪的应用。进口起动压力高达 25 mbar，进气口处对氦气的抽速达 2.5 l/s ，可检测漏率：真空模式：5X10-12 mbar l/s (5X10-13 pa m3/s)；
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