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半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，博山真空泵生产厂家，其成分可能极为复杂，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解会形成HCl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，博山真空泵厂，一点中提到的***性也更大。所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。
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真空泵跳闸原因主要有以下几点：真空泵长时间停用，如果停用真空泵时间过长电机负载会导致暂时性电流过高，此时封闭真空泵进气口运行使泵体加热即可
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尽量利用密封件上可用来指示密封器件内部压力和示漏物质分压力的规管和残气分析质谱计等进行检漏。
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