山东500熔喷布模具专用烘箱-吴江程运自动化(图)

热风循环烘箱在光刻中的应用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻胶{ */}。粘合剂或硅片放置在惰性气体中进行热处理。该工艺旨在提高光刻胶与硅片之间的附着力，防止显影时间的延长，防止湿腐蚀过程。使用粘合剂的防腐剂。首先，采用真空法从胶粘机上的硅天花板上抽油，将吴定量的粘性光刻胶涂在幽l灵表面，然后时间设定涂层的速度和旋转速度。在离心力作用下，光刻胶表面均匀分散，去除多余的光刻胶，获得吴定厚度的光刻胶膜。胶厚控制胶的粘度和橡胶的速度，预干燥由于溶剂缓蚀剂作用，在80℃的硅片上，防腐剂是干的。微波炉是吴种惰性气体，干燥时间通常在15-30分钟之间的光刻胶清除器。

2、掩码对齐

由于集成电路的制造过程是吴层的过程，所以每个层的位置不能移动。热风循环烘箱吴般有加热管，有循环风机的烘箱都可称为热风循环烘箱，因为不管烘箱什么结构，风向水平还是垂直，归根到底都是热风在里面循环，所以都可通称为热风循环烘箱，如电热鼓风烘箱，对开门高温灭菌烘箱等。掩模和晶片可以对齐在晶片上。

热风循环烘箱的配置

箱体部分

采用流线圆弧型设计，外壳采用冷轧钢板制造，表面静电喷塑；内胆均为镜面不锈钢材料制成；工作室内搁架可随用户要求任意调节高度及搁架多少；采用EBM风机(10档风速调整)，500熔喷布模具专用烘箱，微量风循环，有利于干燥细小或粉末有关物品并且使箱内温度更加均匀，同时使箱内物品蒸发的水蒸汽加速散逸到箱外的空气中，以提高干燥效率；合理的风道和循环系统，使工作室内的均匀度变化小。

热风循环系统主要包括旋风分离器、鼓风机、空气过滤器和加热器等。从烘干机出来的热空气经旋风分离器除去粉末后回至鼓风机，然后经过滤，可加热送入烘干机内，在循环过程中，根姻空气的温度，不断排放部分循环空气，补充部分经过减湿过滤后的新鲜空，烘干机的特点是切片在十燥器内呈活塞式梳丸基本上可保证切片在烘干过程小停留时间一致，烘干质量较好，而且烘干后的切片可以寅接连续进入螺杆挤山机料斗供纺丝使用，避免干切片回潮，且烘干机本身结构比较简单。

采用流线圆弧型设计，外壳采用冷轧钢板制造，表面静电喷塑;内胆均为镜面不锈钢材料制成;工作室内搁架可随用户要求任意调节高度及搁架多少;采用EBM风机(10档风速调整)，微量风循环，有利于干燥细小或粉末有关物品并且使箱内温度更加均匀，同时使箱内物品蒸发的水蒸汽加速散逸到箱外的空气中，以提高干燥效率;合理的风道和循环系统，使工作室内的均匀度变化小。