




氦质谱检漏的优越性
氦质谱检漏法是根据质谱分析的原理, 以氦作示踪气体, 对各种需密封的容器的漏隙进行快速***和定量检测的理想方法。
由于氦是惰性气体, 对大气无污染, 使用比较安全; 而且氦的原子量小、粘度小, 容易渗透过任何可能存在的漏隙, 因此检测灵敏度高、速度快、适用范围广; 另外氦在大气中含量少(仅万分之五) , 离子质量与其它气体离子质量相差很大, 不易受干扰, 错判几率小。所以, 与其它诸多检漏方法比, 氦质谱检漏具有的优越性。
随着科学技术的不断发展, 检漏应用技术在不断地更新, 氦质谱检漏技术也在不断扩展到更广阔的领域当中。为提高产品合格率和生产效率, 不应一味沿用的古老且落后的手段处理泄漏问题。
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氦检漏设备的工艺流程
A1:安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空,同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测;
B1:若A1检测不通过,则系统报警,大漏工件序号显示-----检测程序中止;
B2:若A1检测通过,放掉氮气------对工件抽真空------真空箱内的氦气本底抑零-----工件内充入氦气-------真空模式,微漏检测;
C1:若B2检测不通过,则系统报警-----循环检,小漏工件序号显示------检测程序中止;
C2:若B2检测通过,真空箱内充入大气,同时工件内氦气回收-------真空箱开门,检测完成。

检漏仪的***注意事项
1.如果仪器不是每天使用,建议每周开机检查一下,使仪器高真空系统保持真空,缩短仪器使用时的开机时间
2.拆卸仪器部件(如离子源)后,安装时要避免安装部位出现泄漏,可用仪器进行自身检漏。
3.适时对仪器可能出现的泄漏处(如放气阀等)进行自身检漏,发现漏点后要及时取下清洗或固紧,检漏仪报价,以免在检漏时干扰检漏工作。
4.检漏仪维修每隔一段时间***油泵。(散热口灰尘处理,和泵油的检查更换)
5.禁止任何外来物掉在或洒在检漏仪上,尤其是进气口中,由于氦检漏仪为精密仪器,其存放和使用环境要保持干净、卫生。只有经过培训或有资格的设备维护工程师,才能使用此仪器。
6.使用时,注意观察仪器的运行情况,一旦发现问题(如较大振动、高噪音等),仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中,若搬动检漏仪,容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。马上切断电源,并排除故障。

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