




超纯水技术在半导体行业的应用
反渗透部分在半导体行业中,反渗透部分多采用双级反渗透工艺,以确保后续工艺的安全性。通过双级反渗透,可去除水中超过99%的悬浮物、胶体,98%以上的溶解盐,大部分的微生物、TOC和部分CO2。该半导体制造厂也采用双级反渗透工艺,同时将双级反渗透拆分成两个***的部分,这样就更加有效地保证了系统的连续运行,即使在更换反渗透膜或在线清洗反渗透膜时,也不会造成整个工厂大而积的停水,确保了关键部位的连续用水。该半导体厂采取在一级反渗透前增加SBS,MDC加药装置,保证了一级反渗透系统的安全运行;在一级反渗透和二级反渗透之间增加一套加碱装置,中水回用设备,可提高二级反渗透系统的脱盐率。
水处理设备机械过滤器选型及注意事项
水处理条件
过滤高温、挥发性或***物料,必须加以 特殊考虑。如果悬浮液温度较高,由于蒸气压关系,真空过滤较困难,采用加压过滤比较适合。在物料毒性较强的场合,必须采用密闭过滤,以防物料泄漏污染环境。
水过滤到达的效果
经过滤处理,有的是回收有价值的固形 物,有的是净化滤液,有的是二者兼顾。
过滤机结构及材质
如果过滤原液腐蚀性不强,选用过滤机时 对材质要求不宜过高,否则造价较高。在结构上应尽量考虑构造简单的机型,以免维修困 难。

超纯水技术在半导体行业的应用
预处理部分预处理的作用是对原水进行粗加工.提供符合Ro进水要求的给水。其主要用来去除原水中的悬浮物、胶体,使SD≤4;去除游离氯等氧化性物质;去除部分有机物;降低LSI ,避免碳酸盐结垢。在超纯水制造工艺中,传统预处理方式是“多介质过滤器 活性炭过滤器”。而该半导体制造厂采用了“粗过滤器 超滤装置”作为超纯水系统的预处理部分,主要原因如下:(I)传统的预处理过程中SDI值不好控制,一般gt;5,不利于后续的一级反渗透系统的运行;而超滤装置的出水SDI值比较稳定(}1),中水回用设备价格,能够有效地保证一级反渗透系统的运行。(2)传统的预处理方式占地而积大,而“粗过滤器 超滤装置”占地而积小,中水回用设备供应商,节约了基建费用。(3)与传统的预处理方式在更换填料时需要大量的人力和物力相比,超滤装置的更换比较方便。(4)近年来,由于超滤技术的不断成熟,小区中水回用设备厂家,系统能够稳定安全地运行,而且超滤膜的价格也有了大幅度的降低,在一次性***和运行维护费用上跟传统的预处理方式相比差不多。
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