氦质谱检漏仪
设备是产生、改善并维持真空的装置，包括真空应用设备及真空获得设备。真空系统设备的真空系统是核心，主要由真空获得、真空测量、真空腔体（或容器）以及控制辅助等部件（如真空阀门、管道等）。其在使用过程中如果真空度达不到或者达到真空度速度慢都会影响企业的生产效
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氦质谱检漏仪逆扩散原理
对子漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，若直接与检漏仪相连，氦质谱检漏仪的真空度可能抽不上去，使氦质谱检漏仪无法工作。此种情况须加接辅助真空系统，提高对被检件的抽速。的辅助真空系统只需一个机械泵和两个阀门，复杂的系统可由前级泵、次级泵、阀门、真空规及标准漏孔等组成。次级泵可用扩散系或罗茨泵，前级系气镇式机械泵。
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氦质谱测漏仪的准确性
氦质谱测漏仪应用广泛，随着科技的进步，对科研器材要求更加严格；生产工艺的改进，对产线的性能要求更高；以及化工企业，管路的严密性好坏直接关系安全；电厂的管路严密，直接关系到节约多少能源等等。所有这些，都需要使用氦质谱检漏仪来完成检测任务。保证标准漏孔的准确，就是保证氦质谱检漏仪检测结果的准确性。
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