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涨知识!带你了解14类工业气体
对压缩气体继续加压, 适当降温,压缩气体就会变成液体的,称为液化气体(如 液氨、液体二氧化碳等)。此外,还有一种性质极为不稳定的气体,加压后需溶于溶剂中储存在钢瓶内,这种气体称为溶解气体.
具体来说工业气体可分为以下14种:
1. 外延气体(Cpitaxial gases) :在仔细选择的衬底上采用化学气相淀积(CVD) 的方法生长一层或多层材料所用气体称为外延气体。
蚀刻气体
蚀刻方式有湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。干法蚀刻所用气体称蚀刻气体, 通常多为氟化物气体, 干法蚀刻由于蚀刻方向性强、工艺控制方便、无脱胶现象、无基片损伤和沾污, 所以其应用范围日益广泛。
掺杂气体(Dopant Gases)
在半导体器件和集成电路制造中, 将某种或某些杂质掺入半导体材料内, 以使材料具有所需要的导电类型和一定的电阻率, 用来制造PN结、电阻、埋层等。掺杂工艺所用的气体掺杂源被称为掺杂气体。
气体传感器常用术语
气体传感器常用术语:灵敏度:元件在规定的工作条件下,其在一定的气体浓度下的输出(电压、电流、电阻等,下同)与洁净空气或参比气体中的输出的差值或比值。
响应时间:传感器接触的气体浓度发生阶跃变化时,其输出变化达到稳定值的规定的百分比(一般为70%或90%)时所需的时间。
