在金属晶粒中可产生更均匀、更微小，且带有更大密度的微小材料***；
由于有附加微碳化物粒子和更细密的晶格，故导致了更密集的分子结构，五金模真空热处理，使材料内部微小的空洞被大大减少；
材料经超低温处理后内部热应力和机械应力大为降低，从而有效地减少了造成工具和刀具产生裂纹、崩刃的可能性。此外，由于刀具中的残余应力影响切削刃吸收动能的能力，经过超低温处理的刀具不仅具有较高的抗磨性，而且其自身的残余应力的危害也比未经处理的刀具大大降低；
在被处理的硬质合金中，由于其电子动能的减少而使分子结构产生新的组合。
炉温测定、监控精度明显提高。热电偶的指示值与炉温温度达到±1.5°c。但炉内大批工件不同部位的温差较大，若采用稀薄气体强制循环，仍可控制在±5°c温差范围内。
机电一体化程度高。在温度测控精度提高的基础上，工件移动、气压调节、功率调节等均可预先编程设定，按步骤实施淬火和回火。
能耗显著低于盐浴炉。现代***的真空炉加热室采用隔热材料制成的隔热墙和屏障，可将电热能量高度集中于加热室内，节能效果显著。
安装质量不好将会使压升率达不到技术要求，渗碳热处理，长期使用之后，热处理，真空炉的压升率也会增大。当真空度压升率恶化到一定程度后，处理零件的表面质量下降，加热元件的使用寿命会明显降低，这是需要对炉子检漏，并排除漏气原因。检漏及排除漏气因素的目的就是使漏气率达到技术条件要求。1）由于存在漏孔产生的漏气；2）由渗透产生的漏气；渗透式指气体不是通过固体中的漏孔方式漏气的现象，而是气体吸附在固体的高压一侧表面上，然后沿浓度梯度向固体低压的一侧扩散。在真空炉中的金属、玻璃、橡皮、陶瓷等材料，都是可以渗透气体的。
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