






自动热固化涂布机操作步骤:
(1) 首先将PUMP的电源插头插入涂布机后面的电源插座。
(2) 将涂布机插头插入110V的电源插座,然后按下[POWER]键。
(3) 设定旋转的转速及时间,本机型为二段式加速的Spin Coating,右边为段加速,左边为第二加速。
(4) 依不同尺寸的基材,可更换不同的旋转转盘做徒步的动作。
(5) 按下[PUMP]键,此时旋转转盘会吸住基材,然后将光阻依螺旋状从基材中心均匀且慢慢的往外涂开至适当的量,在做光阻涂开动作时可先用氮气将旋转转盘周围及基材吹乾净。


涂布机有多种工艺,要求预驱动轴在接收材料时处于静止状态。当接料轴需要更换时,按下接料按钮,接料存放架将从零加速,同时接料牵引力和当前轴将减速。收料动作完成后,收料架电机减速,收料臂落下后,收料牵引力和收料当前轴加速。接收和存储架以零速度向下加速,直到加速到设定速度。当接收和存储架下降到减速标记时,它开始以恒定的速度减速,直到速度为零。在整个过程中,从复合单元到接收牵引,从接收牵引到接收电流轴的张力始终是稳定的。橡胶辊的圆周是固定的,因此橡胶辊电机的转速是主速度加上摆动辊的调节速度。安川H1000变频器中的PID控制器可以满足涂胶单元和复合单元之间张力的微调控制。