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（一）、罗茨真空泵定期检查：1、每日检查：a）油位检查：油量过多，使温度升高，油量过少，造成润滑不良。b）温度检查：用温度计检查泵各部位温度。c）电动机负荷检查：用功率表或电流，电压表测量电动机负荷。2、罗茨真空泵每月检查：联轴器及垫片是否损坏和松动。3、罗茨真空泵每3个月检查：齿轮箱内润滑油是否变质。4、罗茨真空泵每6个月检查：a）前盖轴承箱内润滑油是否变质。b）活塞环及活塞环衬套是否磨损。c）齿轮微量程度的磨损对转子正常运转是否产生影响，是否需要调整。

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2.反压强反压强是指扩散泵所允许的前置压强值。如果前级泵所产生的压强高于反压强，则扩散泵就不能正常工作。3.抽气速率扩散泵的抽速可根据气体分子运动理论来推算出来。4.设置冷阱及低温挡板的原因由于扩散泵喷嘴喷出来的油蒸气分子，大部分由泵壁冷凝，这是因为泵壁外设置冷却水套或冷却管道的缘故。但是有少部分蒸气分子被泵壁反射，散射会返回被抽空间，这种现象在低温实验室中要特别注意。如在扩散泵和被抽容器之前加上冷阱或低温挡板，这样就能使返加的蒸气被冷凝下来，截止了油蒸气的返流。