氦质谱检漏仪
不仅耗能耗时，还会直接影响真空工艺条件，造成产品不合格等重大生产质量问题。究其原因是由于真空系统设备存在泄漏所致，所以真空系统设备的真空系统需要进行检漏。对于由各个组件组成的真空系统，各个组件本身存在的一些工艺瑕疵都会直接影响到系统的固有漏率
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氦质谱检漏仪
180度非均匀磁场的质谱室设计，对焦准确，灵敏度高。
检漏口耐压高，可检漏率量程宽，大漏小漏全可检。
离子源灯丝采用氧化钇铱金灯丝，寿命长、灵敏度高。
检漏状态下独特的三屏切换，信息更丰富，检漏更方便。
具有快速清氦功能和快速响应功能。检漏状态一键清零。
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氦质谱检漏仪
氦在空气中及真空系统残余气体中的含量（在空气中约含5.2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。
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