氦质谱检漏仪
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氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
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空调检漏设备
真空系统检漏中不论是采用哪种气泡检漏法，应用中需要注意：
1、示漏气体的种类与压力会影响检测灵敏度。
2、充入气体的压力还要考虑被检件的机械强度。
3、被检件检测前需要进行充分的清洁，同时要在充好气后再放入液体中，防止堵塞漏孔。
4、区分虚漏与真漏，被检件放入液体中，其表面的吸附气体可能形成气泡，需要与漏孔形成的气泡加以区分，须将这些气泡抹掉后再进行观察。
5、观察时需要保证光线充足，液体清澈透明（皂膜法时尤其要注意皂液的稀稠度，过稀易流动滴落导致漏检，过稠易堵塞透明度差或形成气泡造成误检），观察背景要暗；同时被检件要稳，距离水面要近，并保证水面平静。
真空系统检漏过程中发现漏孔要及时标记，氦质谱检漏仪生产厂家，并复查确认进行焊补，如果采用氢气作为示漏气体，要特别注意安全。
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氦检漏仪产品介绍
***用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能稳定可靠。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s漏率显示范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s启动时间： ≤5min响应时间： lt;2S检漏口： 300Pa极限真空： 5×10-4Pa外形尺寸： 560（W）×420（D）×300（H）重量：46KG
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