高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积！
高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，***，氦而言。
工业氧气一般仅要求含氧纯度，对其它卫生条件等无特别要求，同时，它还含有超标的1氧化碳、甲1烷等***气体，水分、***和灰尘含量也很高，工业氧气主要用于焊接、气焊、气割等。
氧气是空气的组分之一，无色、无嗅、无味。氧气密度比空气大，在标准状况（0℃和大气压强101325帕）下密度为1.429克/升。大规模生产氧气的方法是分馏液态空气 ，首先将空气压缩，待其膨氧胀后又冷冻为液态空气，由于稀有气体和氮气的沸点都比氧气低，经过分馏，剩下的便是液氧，可贮存在高压钢瓶中。
氧气焊接的基本操作方法
调整后的火焰形状不得歪斜或发出“吱吱”的声音。若发现火焰不正常时，要用通针把焊嘴内的杂质清除干净，使火焰正常后才可焊接。有时，由于供给焊炬的乙1炔量不均匀，会引起火焰性质不稳定，这时中性焰会自动变成氧化焰或碳化焰。因此，在气焊操作中还应随时注意观察火焰性质的变化，并及时调节氧气调节阀。
液氧的充装
1．液氧贮槽现场严禁存放物品，照明及电气开关必须是防爆型的。
2．液氧贮槽必须设置单独的导除静电设施和防雷击装置。导除静电的接地电阻不得大于100Ω，防雷击装置冲击电阻不得大于30Ω，并且要做到至少每年测定一次。
3 液氧贮存场所四周必须设置牢固可靠的防护围栏，安全通道和安全口，并有醒目的警示标志。
