




石墨坩埚是众多坩埚中的一种,他具有良好的热导性和耐高温性,在高温使用过程中,热膨胀系数小,对急热、急冷具有一定抗应变性能。对酸,碱性溶液的抗腐蚀性较强,具有优良的化学稳定性。
石墨坩埚,因具有以上优良的性能,所以在冶金、铸造、机械、化工等工业部门,被广泛用于合金工具钢的冶炼和有色金属及其合金的熔炼。并有着较好的技术经济效果。
坩埚的使用注意事项:
1、坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。基于以上的优良性能,石墨坩埚在冶金、铸造、机械、化工等工业部门应用广泛。当今,世界半导体工业发达***已用此坩埚取代了小的透明坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。
2、石英质脆,易破,使用时要注意。
3、除HF外,普通稀无机酸可用作清洗液。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。目前国内坩埚生产厂家生产的18和20英寸坩埚技术都比较成熟。坩埚的搬运为了更好的保护坩埚的釉层,搬运坩埚时必须非常小心,要避免发生敲打、碰撞或跌落的现象,更不能把坩埚横放在地面上滚动运输。其生产使用原料石英砂主要由美国进口。国内产的石英砂纯度都达不到其要求。其原料里杂质在生产时高温熔制过程中产生黑点气泡等 对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。
4、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。
