真空泵长期使用后，多少都会出现真空泵漏油现象。如果只是小范围的渗漏，只要泵油在油视镜观察的正常范围以内，可以暂时不用管，若油位己低于正常范围了，就需要立即添加泵油才可正常使用，否则可能会使真空泵损坏。注意，真空泵维修，油位如果太高也可导致喷油，是加到油视镜三分之二处。
如果真空泵泵油漏的厉害，就需要更换真空泵的油封（往往是几个密封件），如果自己可以更换，从真空泵的公司买回相应备件，自行更换，如果自己不会更换，就需将泵发回厂家或找代理商进行维修。
在真空泵维修***期间，更换真空泵油和机油滤清器。如果油因污染而变黑、乳化或变稠，应及时更换。在更换机油的同时，应更换机油滤清器。请在添加新油之前清洗泵。清洗和换油步骤:停止泵并排出热油；拧上放油塞，运行5-10秒，并完全排干油。将清洁油(32号普通机油)注入油窗高度的3/4处；运行真空泵5-10分钟；停止泵并排出油。如果排出的油仍然混浊，不符合要求，里其乐真空泵维修，重复步骤3和4，直到排出的油是透明的；拧上放油塞，贝克真空泵维修，运行5-10秒钟；彻底排干油；注入的新油。
工作完毕，切断电炉电源，等炉温降到一定温度后，关闭扩散泵加热电源。在抽预真空状态下，等油增压泵降油温，然后关真空阀，关机械真空泵，后关冷却水和总电源。工作结束后，应及时填写设备使用记录及相关文件，***维修真空泵，整理及打扫工作现场，消灭事故隐患。
真空设备操作应注意，扩散泵加热时，主抽泵及前级阀需打开抽真空。主阀必须在前级阀打开后才能打开。主阀未关上时，炉体放气阀不能打开。
真空设备的改造。为防比大量冷空气进行扩散泵和增压泵，可在抽高真空管道系统加装一台维持泵，实现真空阀与放气阀之问互锁，从而确保设备安全运行。由于管路没有加维持泵，在抽高真空时，气动挡板阀由于损坏或误操作而漏气，使冷空气进入，冷空气遇高温油蒸气，使气体迅速膨胀发生。
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