动压精密气浮轴承-光波超精密(在线咨询)-秦皇岛精密气浮轴承

光波超精密气浮轴承厂家——精密气浮轴承

气浮轴承的介绍：

气浮轴承是指借助于轴承滑动副表面之间形成的压力气膜将负荷支撑起来的轴承，动压精密气浮轴承，工作时滑动副表面之间完全由气膜分开。由于两个相对运动部件之间有一层气膜，其中一个处于“悬浮”状态，因此也被称为气浮轴承。

气浮轴承属于滑动轴承中之流体滑动轴承，工作时为流体润滑状态，其润滑介质为气体（通常是空气，秦皇岛精密气浮轴承，也可能是其它气体，比如氮气、二氧化碳等。由于多为压缩空气，所以也称空气轴承）。

气浮轴承工作原理是什么呢？

根据气膜形成机***浮轴承主要分为两大类：气体静压i轴承和气体动压i轴承。

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气体静压i轴承工作原理：

气体静压i轴承的压力气膜是由外部的压缩气体通过节流器导入滑动副表面之间形成，见图1。使用气体静压i轴承必须配备洁净的外部气源。

气体静压i轴承压力气膜的形成与运动无关，因此接通气源，轴承承载区就一直处于流体摩擦状态。

气体静压ii轴承分为径向气浮轴承、止推气浮轴承和球面气浮轴承等。单独使用的止推气浮轴承一般称为平面气浮轴承或者气浮垫，主要用来实现线性运动，比如各类精密气浮线性运动平台、高频高加速线性驱动、无接触静压气浮输送系统等；径向气浮轴承和止推气浮轴承组合实现旋转运动，比如各类精密气浮转台、高速气浮电主轴、气浮主轴等；单独使用的径向气浮轴承一般称为气浮轴套，钻石刀具精密气浮轴承，除了转动外还可以实现沿轴向的滑动。

气体静压i轴承在精密和超精密装备中应用广泛，比如集成电路生产设备、平面显示器生产设备、半导体生产设备、电子生产设备、太阳能电池生产设备、新型元器件生产设备、检验和测量设备、医i疗设备以及高精度机床等。

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气浮轴承-节流方式与特点

根据节流方式，目前市场上比较常见的气浮轴承（aerostatic bearings，以下简称气浮轴承air bearings）主要有几种类型：1）单小孔节流型；2）表面复合节流型；3）多孔质材料节流型；4）微孔节流型。下述简单介绍一下各种节流方式及其特点。

1）单小孔节流型气浮轴承

这是***早期气浮轴承采用的节流方式，其节流器由一个直径较大的小孔和一个环绕小孔的腔室构成，见图1。通常情况下，腔室大约占气浮轴承表面的3%-20%，腔室内的空气有一部分不能被压缩，这些区域称为“死容积区”，即使腔室的深度为1/100mm，“死容积区”也非常大。“死容积区”对气浮轴承动态性能影响很大，且会引起自激振动。

采用这种节流方式的气浮轴承气耗量较大，其承载能力、静态和动态组合性能、稳定性和阻尼性能等方面均很差，特别是倾侧刚度(tilt stiffness)。自激振动大。

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气浮垫不具有互换性。

气浮轴承-节流方式与特点

2）表面复合节流型气浮轴承

表面复合节流型气浮轴承包括：a）多小孔带阻尼腔室和沟槽节流型；b）微沟槽节流型。

a）多小孔带阻尼腔室和沟槽节流型气浮轴承

节流器由数个小孔、沟槽以及小腔室构成，是一种表面复合节流型的气浮轴承，小型精密气浮轴承，见图2。这种结构的思路是基于假设：使用有限个小孔可以降低死容积区，同时使空气在轴承间隙中均匀分配，因此这类气浮轴承的设计理念就是找到一种特殊的沟槽结构，但实际上仍然存在死容积区。

其主要缺点是气隙内空气压力不均匀、倾侧刚度差、稳定性和阻尼等方面也很差。自激振动大。

气浮垫不具有互换性。

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气浮轴承是指借助于轴承滑动副表面之间形成的压力空气膜将负荷支承起来的轴承，工作时滑动副表面之间完全由气膜分开。气浮轴承属于滑动轴承中之流体滑动轴承，工作时为流体润滑，其润滑介质为空气。

根据压力空气膜形成机理，气浮轴承主要分为两类：空气动压i轴承和空气静压i承。

空气动压i轴承的压力空气膜是通过滑动副的相互运动将空气带入滑动副表面之间收敛性的区域而形成的，气膜大致为楔形，见图1。由于空气动压i轴承不需要外部气源，因此也称为“自作用轴承”。

空气静压i轴承的压力空气膜是由外部的压缩空气通过节流器导入滑动副表面之间形成，见图2。空气静压i轴承需要洁净的外部气源。

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滑动轴承之摩擦状态分为边界摩擦、混合摩擦和流体摩擦。在流体摩擦状态下，轴承滑动副两表面之间有一层连续的流体膜，形成流体膜润滑，因此它们之间不会发生直接接触（机械接触），并且在此摩擦状态下，滑动副之间的摩擦系数很小。

空气动压i轴承在压力空气膜的形成过程中，随着速度的提高，轴承承载区依次出现边界摩擦、混合摩擦和流体摩擦，反之亦然。换言之，只有在相对速度达到一定值后滑动副之间为流体摩擦状态，Stribeck曲线可以定性说明这一过程，空气静压u轴承压力空气膜的形成与运动无关，因此接通气源轴承承载区就一直处于流体摩擦状态。