多源有机无机热蒸发镀膜机报价-沈阳鹏程真空技术公司

钙钛矿镀膜设备

以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供，350型四源有机无机热蒸发镀膜机报价，今天我们来分享电阻热蒸发镀膜产品的相关内容，希望对同行业的朋友有所帮助！

设备用途 ：

适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等，有机无机热蒸发镀膜机报价，可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作，也可用于大批量生产前的试验工作。广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、OLED等研究领域

设备组成：

该设备主要由沉积室、真空排气系统、真空测量、蒸发源、样品加热、电控系统、等部分组成。

1、镀膜室：方形前后开门结构，内带有防污板。

2、真空度：镀膜室的极限真空≤5×10-5Pa；

3、蒸发源系统：有机源蒸发源4个，无机蒸发源2套

4、样品架系统：样品大小为Φ150mm的样品，旋转速度为：0～30转/分；

5、样品在镀膜过程中，可烘烤加热，加热温度为：室温～190℃，测温控温。

6、膜厚控制仪：测量范围0-999999?

小方分子提纯设备　　

主要用途：　　

用来生长有机材料提纯的研究工作。　　

系统组成:　　该类设备为单室结构。　　

技术指标：　　

极限真空≤610-4Pa，工作压力≤2*10-3Pa；　　

系统漏率≤6.7×10-7PaL/s。　　

镀膜室：腔室尺寸约为Φ50×350mm，石英材料，圆柱形结构。　　

抽气系统：采用分子泵 机械泵抽气系统；　　

样品可加热，加热温度为：200-600℃；

可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统　　

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ZF450型全自动热蒸发镀膜机

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选用3～8组蒸发源可适配金属材料、有机化合物蒸发。广泛运用于高等院校材料、物理学、有机化学、电子器件、电力能源等有关课程及其科研单位制取高品质作用塑料薄膜、蒸镀电级等，350型四源有机无机热蒸发镀膜机报价，非常合适OPV/钙钛矿/无机物太阳能薄膜充电电池、半导体材料、有机化学EL、OLED显示信息科学研究与开发设计行业。

1.前开关门真空内腔，多源有机无机热蒸发镀膜机报价，便捷拿取基片、拆换蒸发舟、加上蒸发材料及其真空室的平时维护***；

2.1200L/s分子泵做为主抽泵，真空限达到5×10-5Pa；

另可选择進口磁悬浮分子泵或是低温泵做为主抽泵，真空限达到 3×10-6Pa；

3. 组水冷器蒸发电级，可长期平稳工作中，适配金属材料材料与有机化学材料的蒸发源设计方案，

源间有避免交叉式环境污染挡板；

4. 真空蒸发开关电源，恒流电源/恒输出功率操纵。可保持一键启动和终止的自动控制系统作用；

5.较大120mm基片/15～25mm ITO/FTO夹层玻璃25片，可订制一体化高精密刻蚀掩膜板；

6.基片台自转，转速比0～25rpm持续可调式；

7. 衬底可挑选加温或水冷散热，源基距较大350mm；

8. 选用進口膜厚监控器仪在线监控和操纵蒸发速度、膜厚；

9. 可堆积金属材料（Au， Ag， Al， Ca， Cu， Mg， Fe， Cr， Ni等）、非金属材料、化学物质（MoO3， LiF等）

及有机化合物材料， 可扩展堆积单面膜、双层膜及混和膜；

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