氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、***定量准确等优点而被广泛应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。检漏仪在使用过程中，往往会因为产生的一些故障或是现象，而影响检漏工作的正常进度，若对其置之不理还会危及检漏仪的使用寿命。其中的有些故障或现象是使用者能够及时解决或避免的，掌握和了解检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利开展以及设备的***。本文以氦质谱检漏仪为例，介绍了该型检漏仪的工作原理及结构组成， 分析了检漏仪5 种常见故障的处理方法，总结了检漏仪在使用过程中应***注意的事项。
氦质谱检漏仪的应用拓展二
电力行业
SF6高压开关和氧化锌避雷器是发电厂及野外输变电的重要组成部分，往往因泄漏造成大面积或局部停电，影响工业生产，又妨碍人们的正常生活。因此带来的经济损失有时是难以估量的。
1）高压开关在连箱是铝铸件，往往容易有砂眼，且漏孔结构复杂，不易清洗。一般采用检漏盒或氦罩法，即把被检件抽真空，然后向罩内充入氦气，等待一定时间，确定总漏率的大小。因氦气的用量小，检测灵敏度就高。
2）氧化锌避雷器，是根据电压高低要求，采用不同截面积、不同厚度和不同数量的氧化锌片，装在瓷套中，充入氮气后密封。其工作原理是在高压输出中如遇雷击，氧化锌片电阻变小，大电流对地短路，输电线路被保护。如果泄漏造成内外没有压差，外部潮湿气体有可能进入，而***氧化锌片特性，造成爆1炸。
3）电力行业中，电厂的检漏、高压变压器、高压电容器、高压开关管及其它元器件也都相应的采用氦质谱检谱检漏仪，用不同方法进行检漏。
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氦质谱检漏仪原理
一般真空容器法检漏系统由产品充气回收设备、真空容器、漏率标定设备、真空获得设备、氦质谱检漏仪等设备构成，如图1 所示。传统的真空检漏方法是先将航天器安装在真空容器中，将充气管路和航天器被检管路系统连接好，保证连接处的漏率小于被检系统漏率的百分之一，密封好真空容器，通过真空机组将真空容器抽至氦质谱检漏仪的工作真空度（一般优于10-2 Pa），用氦质谱检漏仪测量真空容器的氦本底漏率显示值I01。打开标准漏孔，测量真空容器中的氦稳定漏率显示值I1。关闭标准漏孔，用真空机组将真空容器抽至稳定的氦本底漏率显示值I02。
