特气管道系统 Special Gas Pipeline System 是指SiH4，NF3，Cl2 等一些具有高***性，应确保安全性的特气。公司提供从供气系统；排气处理、监视系统的综合管理系统；建立以安全为第i一的特气管理输送系统。提供设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务等整体解决方案。（5）空瓶与实瓶分区放置，气瓶室易i燃易i爆气瓶应该与助燃气瓶隔离。
特种气体是光电子、微电子等领域，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精i确性和准确性。即使是干燥的氯i化氢和氯i气，高浓度时也不能储存在铝合金气瓶中。
工程项目覆盖半导体、集成电路、平板显示、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医i药、各类实验室、研究所、标准检测等高科技行业；为客户提供高纯介质输送系统***解决方案；逐步成为行业领i先的整体系统供应商。
气体管道安装流程
1、施工前准备：真空管道安装前做好施工材料的清点领用准备。
2、材料防腐：防腐施工是真空管道安装项目的重要环节。在安装工程中常用的的防腐材料主要有各种有机和无机涂料、玻璃钢、橡胶制品、无机板材等。
3、管道配管：冷热管尽量分开布置，分不开时，热管在上，冷管在下；真空管线应尽量短，减小阻力，达到更大真空度。
4、支架第i一阶段安装
5、管道安装及支吊架第二阶段安装
6、管道对口、焊接：对口的关键是破口要合适。焊接时，要注意选择与管道材质相匹配的焊条，用评定好的焊接工艺进行焊接。
7、阀门及特殊部件的安装
8、支架和管道安装符合性检查
9、严密性试验及水压
10、系统的冲洗和吹扫
11、支吊架调整
12、安装结束及记录文件整理
实验室气体的供气方式
采用中压供气，二级减压的供气方式，气瓶气体压力为12.5MPa,经一级减压后为1MPa（管路压力1MPa），送至用气点，经二级减压后为0.3——0.5 MPa（根据仪器需求）送至仪器，供气压力比较稳定。
实验室气体管道的材质要求
（1）对所有气体无渗透性
（2）吸附效应很少
（3）对所输送的气体呈化学惰性
（4）能快速使输送的气体达到平衡
注：化学物质腐蚀影响等级 A—没有影响 B—轻微影响 C—中度影响 D—严重影响
316不锈钢是继304不锈钢之后，第二个得到广泛应用的钢种，具有较好的耐腐蚀性，耐高温，强度优i秀等特点，所以我们一直用 316无缝不锈钢管。
气体管道怎么安装？
1.气瓶间 设计布局：
a) 气瓶间由于有特殊气体（高***性、高纯、易i燃易i爆），气体放置应按气体特性分开放置。并配置灭火器及报警装置，由易i燃易i爆气体单独放置，并做好接地防静电措施，为了安全起见建议采用报警i监控系统。
b) 气瓶连接处设立一级调压装置面板，其中气体供气分为单瓶或双瓶带隔膜阀吹扫及欠压控制装置，可实现对面板压力及管道吹扫排空清洗和控制，面板都为不锈钢材质。
c) 减压器及相关管件均需牢固的固定在一级调压装置面板上，面板应设计的紧凑而合理，以减少系统中的死体积，面板应采用全不锈钢材质制成，并且牢固的固定在可靠的位置上，确保其安全美观。
d) 气瓶间内存放的气瓶或者气瓶柜采用防倒链的气瓶支架固定，气瓶柜需带声光报警、自动排风装置，气瓶柜及支架为不锈钢材质坚固耐用、美观大方、安全可靠。
e) 气瓶间内的气体钢瓶与一级调压装置面板之间采用SS316L高压金属软管或者高压盘管连接无渗透，高压软管（盘管）为柔性软管，以保证连接的方便性；并自带防护钢缆，预防极端情况下钢瓶阀损坏等想象带来的高压“抽鞭”事故；
f) 高压软管上的钢瓶接头必需与对应的气体钢瓶角阀的规格相匹配，以确保连接的可靠性。
g) 面板出气端需安装阻火器或者单向阀，阻止气体回火及回流现象，材质均为不锈钢。
h) 如仪器设备对气体纯度要求结净度高，还需安装气体纯化器及过滤器，以保证终端使用气体的纯度。
i) 吹扫排空清洗管道应分类收集、固定牢固一并排放至室外安全地点。
