针对真空泵腐蚀的修复方法：
彻底清除表面氧化层，用将表面清洗干净。喷砂、打磨、涂防腐蚀涂层保护，***的安装方式完工。
爱发科NRL系列在低温领域下的均热化，除PVD工艺外，爱发科VS2401旋片真空泵精修，龙其适用于希望提高流量，缩短非气时间的重要工艺腔体的排气。
爱发科真空泵NRL180A特点：
低噪音、低振动、的耐腐蚀性。
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对府蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
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发热 当爱发科真空泵泵体发热，温度很高的情况，建议停止使用，检查是什么原因导致，爱发科真空泵温度高的一般有以下几点原因导致，首先检查下真空泵油位窗口，看看是否足够，如果爱发科真空泵油（R-4/R-7)少了，建议先放一点真空泵油看下油是否干净，如果浑浊，建议先把真空泵油放完以后再重新添加足够的真空泵油，然后再开机测试一会温度是否会很高，如果温度正常，就是爱发科真空泵油不足导致爱发科真空泵发热，温度高。
被抽气体的温度可能过高。解决之道：降低被抽气体的温度，或可以加一个相应的换热器。爱发科VS2401旋片真空泵精修泵内的油路不通或者不畅，泵腔内没有保持一定量的油量。解决之道：检查油路是否畅通，并加同类型的真空泵油。爱发科VS2401旋片真空泵精修配合的间隙改大。这是长期被抽气体内含有粉尘等，造成旋片和定子之间磨损后的间隙增大。解决之道：检查间隙是否过大，更换新的零部件。
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