光波超精密气浮轴承厂家——高速气浮微孔钻厂家
超高速、 高精度气浮轴承(钻石、稀有金属、超精密元件等精密加工类)
气浮轴承参数
径向回转精度:≤0. 05μm
轴向回转精度:≤0. 1um
径向承载: 40 -500KG (跟面积单位有关)
径向钢度: 80 200KGf/μm
轴向承载:≥40KG以上(跟面积单位有关)
轴向钢度: 100-500KGf/ μ m
供气压力: 0. 6-0.8MPa
***高转速: 12万转/分
气浮轴承性能特点:
超高速度:可以是从0至50003000060000-
120000-300000转每分钟
高精i确度:小于5纳米(O. 00005毫米)
非接触; (气体)
无摩擦力无磨损;
不需要润滑油:
无噪音;
无振动控制性能:
气浮轴承应用领域
应用于超精密天然钻石刀具、稀土元件、高反光铜镜、钼镜、铝镜、镍镜及磨各种规格的精雕钨钢、陶瓷i刀具等用于超精密车床铣床主轴、钻石研磨、离心机主轴、加工中心、贴片机等:模具制造,机床行业,汽车行业等
光波超精密——高速气浮微孔钻厂家
气浮轴承-节流方式与特点
根据节流方式,目前市场上比较常见的气浮轴承(aerostatic bearings,以下简称气浮轴承air bearings)主要有几种类型:1)单小孔节流型;2)表面复合节流型;3)多孔质材料节流型;4)微孔节流型。下述简单介绍一下各种节流方式及其特点。
1)单小孔节流型气浮轴承
这是***早期气浮轴承采用的节流方式,其节流器由一个直径较大的小孔和一个环绕小孔的腔室构成,见图1。通常情况下,腔室大约占气浮轴承表面的3%-20%,腔室内的空气有一部分不能被压缩,这些区域称为“死容积区”,即使腔室的深度为1/100mm,“死容积区”也非常大。“死容积区”对气浮轴承动态性能影响很大,且会引起自激振动。
采用这种节流方式的气浮轴承气耗量较大,其承载能力、静态和动态组合性能、稳定性和阻尼性能等方面均很差,特别是倾侧刚度(tilt stiffness)。自激振动大。
气浮垫不具有互换性。
2)表面复合节流型气浮轴承
表面复合节流型气浮轴承包括:a)多小孔带阻尼腔室和沟槽节流型;b)微沟槽节流型。
a)多小孔带阻尼腔室和沟槽节流型气浮轴承
节流器由数个小孔、沟槽以及小腔室构成,是一种表面复合节流型的气浮轴承,见图2。这种结构的思路是基于假设:使用有限个小孔可以降低死容积区,同时使空气在轴承间隙中均匀分配,因此这类气浮轴承的设计理念就是找到一种特殊的沟槽结构,但实际上仍然存在死容积区。
其主要缺点是气隙内空气压力不均匀、倾侧刚度差、稳定性和阻尼等方面也很差。自激振动大。
气浮轴承(平面空气静压i轴承、止推空气轴承)广泛应用于高精度设备中,比如集成电路生产设备、平面显示器生产设备、半导体生产设备、电子生产设备、太阳能电池生产设备、新型元器件生产设备、检验和测量设备以及高精度机床等。气浮轴承是静压气浮运动平台的重要组成部件,在工作过程中起承载和导向之作用,它决定了气浮装备的精度和性能,因此在设计时气浮轴承的选择是十分关键的。
选择气浮轴承时,主要应考虑下述因素:
1)承载能力
足够的承载能力可确保气浮轴承将系统“浮”起来,这是***基本的要求。选择时应注意比较不同厂商气浮轴承在同样条件下(规格、气隙、供气压力)的承载能力。
2)刚度(static stiffness 和 tilt stiffness)
足够的刚度是保证气浮系统在设计条件下稳定工作的必要条件。选择时一般考虑静刚度(static stiffness ),但有些情况下也必须考虑倾侧刚度(tilt stiffness),否则系统可能也无法达到设计性能指标要求。选择时应注意比较不同厂商气浮轴承在同样条件下(规格、气隙、供气压力)的刚度。