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- 工作范围：大气~低真空
- 极限真空：10-3 torr (0.1Pa)
- 缺点：返油、振动
使用与维护
更换机械泵油- 清洁抽气入口处滤网
- 维护油过滤器滤芯
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二.罗茨泵
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性能参数
通常扩散泵的性能是以极限真空、反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。1.极限真空如果对一般油扩散泵的结构进行改进，如减少油蒸气的返流，加分镏装置，合理分配加热功率，改进喷嘴角度设计，加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使扩散泵性能大大改善，极限真空可达到更低的压强。油扩散泵工作压力范围是10^-1~10^-6Pa，起始压力正好是机械泵的极限压力，因此，油扩散泵通常要利用机械泵作为前级泵，将真空度抽到10^-1Pa后才能开始工作。
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结构说明
旋片式真空泵是一种容积泵，它借助于旋片在泵腔中连续运转将气体吸入并压缩，后由排气口排出。泵主要由定子、转子、旋片等组成，转子被偏心地装入定子腔内。转子槽中有两块旋片，旋片弹簧置于两旋片之间。定子上的进、排气口被转子和旋片分离为两部分。
当转子在定子腔内旋转时，旋片在弹簧张力与本身离心力的共同作用下其端部紧贴于泵腔内壁滑动，周期性地将进气口侧的腔内容积扩大而吸入气体，同时逐渐缩小排气口的容积，将已吸入的气体压缩，然后从排气口排出从而达到抽气的目的。
特点及适用范围
特点：
真空泵吸气口安装有金属丝网的粗过滤器。能防止固体的外来尘粒吸入泵腔。油分离器内安装有油气分离效果的排气过渡器。停泵时，内置于吸气口的吸气阀使泵与被抽系统隔离，防止油返入被抽系统。泵由空气冷却。XD旋片真空泵所有的泵均由直联的电动机通过弹性联轴器驱动。
适用范围：
1.真空泵适用于密闭系统的抽真空使用。如真***装、真空成形、真空吸引。
2.入口压力范围：100Pa—100000 Pa，超出此范围工作真空泵排气口将有油雾产生。XD型旋片式真空泵工作环境温度和吸入气体温度应在5℃~40℃之间。
3.真空泵不能抽除水或其它液体。不能抽除、、含氧量过高的、腐蚀性的气体。
4.一般供应的电动机不防爆，如要求防爆或其它特殊要求时电动机必须符合相关的标准。
