集成系统设计
MEMS温湿度传感器集成系统包括三个传感器配件部分：处理器芯片、温湿度传感器以及封装结构。其中温湿度传感器对温湿度信号进行测量，处理器将测量数据进行存储与处理。温湿度传感器集成系统使用MEMS铂电阻温度传感器和电容式湿度传感器分别采样待测环境的温湿度。(1)热电阻式：热敏电阻由于体积小，灵敏度高，民期稳定性好等特点在***领域的温度测量中使用非常广泛。
1)MEMS温度传感器
MEMS微加工工艺制备的薄膜结构铂电阻传感器。由于铂的电阻率较高，灵敏度较好，因此经常作为温度传感器的感温材料。铂电阻温度传感器利用金属铂(PT)的电阻值随温度的变化而变化的物理特性制成温度传感器，在实际测量中，一般将电阻值转换成电压或电流等模拟信号的变化，再将模拟信号转换成数字信号， 后交由微处理器转换成实际的温度值。***后，将所有的电路测试完毕如为正常，则需调试或替换环境空气温度。
2)MEMS湿度传感器采用的湿度传感器为电容湿度传感器。两侧电极构成电容极板，中间的电介质采用湿度敏感材料。外界环境中的相对湿度对应了空气中的水分子的含量，当待测环境中的相对湿度发生变化时，空气中的水汽分子含量也会发生相应的变化。湿度敏感材料吸收水分子后的混合物的介电常数由于空气中的水汽分子含量不同而变化，即混合介质的相对介电常数与待测环境中的相对湿度相对应。温度检测的研发与应用对温度进行检测的时候一般都采用热电耦传感器作为传感器配件，不但价格比较低，而且检测的精准度非常高，还具有反应迅速的良好优势。
数字温度传感器与RFID技术结合，可应用于智能。对于住院的，一晚上常常需要进行多次温度测量。如果工作人员使用手持式温度计，很可能被吵醒，这样病情加重的风险也会随之增加。为了保证患者的睡眠质量，确保温度测量的次数和准确性，无线射频识别系统引入了系统，这包括戴在患者腹部的温度传感RFID标签，安装在墙壁上的RFID读写器和存储数据的软件。随着RFID系统的到位，不仅能够实时自动收集患者的温度数据，温度超过设定的阈值，系统能够自动警报，且可预测温度的变化趋势。有源超高频(UHF)RFID传感器，形如磁盘状，宽度约1英寸，通过胶带贴到患者的腹部。该温度传感装置由锂电池供电，每隔30秒测量温度数据，通过墙壁上安装的读写器将温度和RFID编码数据发送到企业管理软件。系统己成为护士的有力助手，极大地减少了护士的劳动量，而且改善了患者的护理体验。特别是晚上，患者可以得到正常的休息。它们的不足之处在于温度范围有限(55℃~ 150℃)，并且需要一个外部参考源。
传感器配件 传感器技术
传感器的定义。由于人类可以利用自身的感官感知外界世界的相关刺激，而传感器也是，将感知到的外界机械刺激传入系统中进行机械检测。传感器是将检测技术集中进行的一种检测工具。能够 快速地检测物理、化学、生物等方面的测量量，通过测量的结果再根据其体的要求对测量的信息做出处理，用要求的形式将该信息输出，这就是传感器的整个工作过程。(2)采用键合机将传感器的电极与基板压焊块进行引线键合，实现两者之间的电气连接。
