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广州潽拓光电——BOC EXT200HI 24V***与维修
真空泵的***与维修方法?：真空泵排气口冒烟;真空泵喷油、漏油;真空泵噪音超标;真空度下降;真空泵发烫等现象。?
如果真空泵问题不是很严重的情况下，可自行拆开真空泵，更换真空泵易损件之后对真空泵进行清洗组装，达到***真空泵的目的。广州潽拓光电----PFEIFFERPKR251大型伺服控制系统：伺服是使物体的位置、方位、状态等输出被控量能够跟随输入目标（或给定值）的任意变化的自动控制系统。对真空泵正确的***可减少真空泵维修的难度，应适当的对真空泵进行***才能更好的使用真空泵，以下对真空泵***问题提出几点建议：?
1、新安装真空泵应检查电机是否正转，也就是电机与泵内转子转向一致，一般电机上方标有电机正常运转方向。真空泵应安装在清洁、干净的环境里，不宜有杂物、粉尘、水源、温度过高的区域。?
2、如果真空泵有吸入杂质、粉尘、水份、化学物质等潜在***，应该在真空泵进气口位置加装精密过滤器，如果杂质、粉尘、水份量过大，必须加装储蓄罐进行过滤，以防止粉尘以及水份化学物质等杂质进入真空泵。
3、真空泵的正常运转中，应保持泵内真空泵油不低于油标线，加油时，严禁与不同牌号、型号真空泵油混合使用。?
4、在使用完真空泵后，应对真空泵进行放，长时间停机启动真空泵前，应断续多次启动真空泵?
5、应定期更换真空泵油，一般3~6个月进行一次更换，如发现泵油乳化、碳化等情况，还应及时更换真空泵专用油。如果真空泵需24小时运转，必须每半年对真空泵进行一次***维修。
Shimadzu TMP-V2304LM岛津磁悬浮分子泵维修
概要：
涡轮分子泵是用于将真空容器内部排放呈高度真空的真空泵，通常和辅助泵配套使用。
主要用途：半导体制造装置、产业装置、研究开发设备、其他超高真空设备等。
标准规格如下：
特点
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；
(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；
(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；
(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；
(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。
⑼真空泵的价格、运转及维修费用。
机械安装
⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、***。
⑵真空泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保真空泵运转平稳，振动小。
⑶真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。（焊接管路时应清除管道中焊渣，严禁焊渣进入真空泵腔。）
⑷在连接管路中，用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查真空泵的极限压力。
⑸按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。
⑹真空泵通电试运转时，须取下电机皮带，确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用，以防真空泵反转喷油。（转向按防护罩指示方向）
⑺对于有冷却水的真空泵，按规定接通冷却水。
⑻如真空泵口安装电磁阀时，阀与真空泵应同时动作。
⑼当真空泵排出气体影响工作环境时，可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。
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