可燃烧废气通过催化剂的作用在较低的温度下分解净化，区别于焚烧炉的焚烧法，焚烧方式温度较高，催化燃烧的催化温度根据废气的不同而不同，一般在250℃-500℃左右。
比较正规的催化燃烧流程为吸附-脱附-燃烧三个阶段，利用活性炭吸附废气的特点，先让活性炭吸附有机废气，然后通过高温气流让活性炭再脱附，这样活性炭可以反复循环进行吸附-脱附，脱附下来的废气被浓缩处理，进而送到催化燃烧室进行催化燃烧分解并释放热量，然后在换热器的作用下使废气浓度达到2000PPM以上，这样废气就可在燃烧床反复燃烧持续自燃，不用再额外加热。经过催化燃烧处理后的废气一部分达标排放到大气中，大部分回到吸附床使活性炭脱附，形成循环往复的系统，这样可以更好的提供催化燃烧设备吸附脱附催化的热量且更加的节能环保。
催化燃烧设备工作原理是将有机废气直接引入催化燃烧装置，开始阶段通过电加热器将其温度升高至反应所需要的温度，废气再催化剂的作用下反应生成无害的H2O和CO2，分解后释放出的热量通过热交换器加热进入催化床的有机废气，放热和热交换所需的热量达到平衡，在无需电加热的情况下，通过自身平衡处理掉高浓度有机废气。
本法工艺简单、***小，在处理高浓度VOCs废气方面，表现出效果良好。直接燃烧法是投加辅助燃料与废气一起送入焚烧炉燃烧，直接焚烧工艺成熟，控制一定的温度条件下污染物去除，焚烧彻底。
但在使用过程中一般会有以下问题：
1、若焚烧含氯、代有机物和芳烃类物质时极易产生类强致***物质，尤其在焚烧炉启动和关闭过程中更易产生，为避免类物质产生，须提高燃烧温度在1200℃以上，若保持如此高的燃烧温度不仅运转费用高，而且对焚烧炉的要求也大大提高。
2、焚烧含氯代有机物时会产生腐蚀问题，尤其是在高温状态下，的腐蚀性能大大增强，不仅对管道存在腐蚀，更严重的是会引起焚烧炉的腐蚀。
3、焚烧时存在的潜在***，尤其是易挥发性可燃气体，若达到其极限遇明火则有可能引起。
