泵主要由泵体(7)、转子(9)和旋片(8)等零件所组成(见原理示意图)。在泵体腔内偏心地装着转子,
转子槽中装两块旋片,由于弹簧弹力作用及转子旋转所产生的离心力旋片紧巾腔壁,泵体中的进、排气只被
转子和旋片分隔成两个部分,转子在腔内旋转,周期性地将进气口部分容积逐渐扩大而吸入气体,同时逐渐
压缩排气部分容积,将吸入气体压缩从排气阀(5)排出,因而达到抽气目的。
真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,
降低真空室内的气体压力,
使之达到要求的真
空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围,至今为止还没有一
种真空系统能覆
盖这个范围。因此,
为达到不同产品的工艺指标、
工作效率和设备工作寿命要求、
不同的真
空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到配置,
选择真空系统时,应考虑下述各
点:
