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(5)排空管路 应该为罐提供带有切断阀排空管路,这有利于管路和泵的排气,有利于快速的降温。(只用于较大的泵,例如,2级泵)。 排空管路的安装应该保证防止气体形成蒸汽包。 密封气体系统(迷宫密封) (1)概述 必须确保不允许湿气进入迷宫密封室,在接入了密封气体之前,确保泵不要受到雨淋,在泵冷却之前,干冰,必须保证密封气体流入迷宫密封,确保迷宫密封中不存在湿气。密封气体的流入时间各不相同,取决于局部的条件,但不得少于10分钟,然后再给泵降温。
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特气市场持续增长。***特种气体市场保持平稳增长态势,其中亚太地区特种气体需求增长快,预计2020年市场规模将达到168亿美元,占***特气比重提升至25.80%。我国特气市场规模由2010年118.14亿元增长至2018年296.49亿元,圆柱干冰,CAGR为12.19%,预计2024年市场规模可达1087亿元;电子特气市场规模由2010年38.99亿元增长至2018年121.56亿元,预计到2024年我国电子特气市场规模达到230亿元。
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特种气体:现代工业“粮食”。特种气体是工业气体中的一个新兴门类,是随着近年来工业、科学研究、自动化技术、精密检测,特别是微电子技术的发展而发展起来的,从应用领域划分,可以划分为电子气体、高纯气体、标准气体。广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体,干冰销售,是原材料之一,可以分为电子特种气体和电子大宗气体,电子气体广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺,被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等材料的“粮食”和“源”。
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