早期开发的变压吸附制氧设备的共同点有以下几个方面：
（1）大多采用高于大气压吸附、常压解吸流程，吸附塔有两个到四个；
（2）空气进入吸附塔前，经过脱水预处理；
（3）设备可靠性差，不能连续稳定运行，导致大部分设备报废；
（4）技术、经济指标落后。
20世纪90年代是我国变压吸附制氧技术突飞猛进向前发展的时期，变压吸附制氧技术逐渐成熟。
我国变压吸附制氧技术现状
通过不断地技术更新和研究开发，我国变压吸附制氧技术日新月异，发展迅速，与世界***水平之间的差距正在不断缩小。但从整体水平上看，我国在很多方面与水平仍有一定的差距。如在新型的吸附剂的研究，吸附流程的改进，理论分析研究和数学模型的建立，质量监控与自动化控制等许多方面。二是设备简单，主要设备罗茨鼓风机和真空泵运行稳定、可靠，分子筛的使用寿命在10年以上，无需维护。
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VPSA与深冷空气制氧比较
现代工艺流程一直改进，VPSA制氧装置是进20多年中发展起来并被市场所接受的技术，VPSA制氧技术开发的时间将更短。 VPSA制氧设备流程比较简单，主要设备有鼓风机、吸附塔和一些阀门，而深冷制氧机流程复杂，主要设备包括空压机、过滤器、膨胀机、精馏塔、净化装置、一组换热器等许多装置。变压吸附真空解吸制氧机(简称VPSA制氧机)，即穿透大气压的条件下，利用VPSA专用分子筛选择性吸附空气中的氮气、二氧化碳和水等杂质，在抽真空的条件下对分子筛进行解吸，从而循环制得纯度较高的氧气(90~94%)。
