一般的要求是:
1
、真空度、真空容积、主要介质、温度、主要容积类设备。
2
、真空流入介质及流量、压力、温度、规律。
3
、抽气量、抽出气体介质、温度。
4
、真空设备的占地面积、自动化程度、真空管道规格
选用真空泵时需要注意事项:
、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求
1×
10-5mmHg
的真空度,
选用的真空泵的真空度至少要
5×
10-6mmHg
。
通常选择泵的真空度
要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
