





镀膜机厂家介绍光学监控法的特点
真空镀膜机膜厚的监控方法较多,目前较新的方法是光学监控法,其相对于的传统的石英晶体微量平衡法来说,光学监控法更具有准确性,因为传统的测试的方法很难阻止传感器跌入这个敏感区域,从而对膜层造成较大的误差。下面镀膜机厂家就来为大家介绍一些光学监控法的特点。
光学监控法可以有效提高光学反应对膜厚度变化灵敏度的理论和方法来减少误差,提供了反馈或传输的选择模式和大范围的监测波长,光学监控法非常适合于各种膜厚的镀膜监控包括非规整膜监控。能够更准确地控制膜层厚度 。
上述所说就是镀膜机厂家为大家介绍的光学监控法的一些特点,而从中我们不难看出光学监控相比传统的监控法来说是一种更适合对真空镀膜机膜厚的监测方法。
磁控溅射镀膜设备溅射方式
清洗过程简化
现有镀膜工艺,多数均要求事先对工件进行严格清洗,既复杂又费事。然而,离子镀工艺自身就有一种离子轰击清洗作用,并且这一作用还一直延续于整个镀膜过程。清洗效果较好,能使镀层直接贴近基体,有效地增强了附着力,简化了大量的镀前清洗工作。
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主要的镀膜溅射方式有哪些?
磁控溅射镀膜设备在目前镀膜行业中是一种不可缺少的镀膜器材,目前大部分镀膜企业都会有使用到。我们平日生产的时候都是由机器生产,那么大家知道目前的磁控镀膜设备主要的溅射方式有哪几种么?下面小编就来给大家讲讲磁控镀膜设备的溅射方式。
磁控溅射镀膜设备原理解析
主要的磁控溅射镀膜设备可以根据其特征分为以下四种:(1)直流溅射;(2)射频溅射;(3)磁控溅射;(4)反应溅射.另外,利用各种离子束源也可以实现薄膜的溅射沉积.
现在的直流溅射(也叫二级溅射)较少用到,原因是溅射气压较高,电压较高,溅射速率小,膜层不稳定等缺点.
直流溅射发展后期,人们在其表面加上一定磁场,磁场束缚住自由电子后,以上缺点均有所改善,也是现阶段广泛应用的一种溅射方法.
CCZK-SF磁控溅射镀膜设备
而后又有中频溅射,提高了阴极发电速率,不易造成放电、靶材等现象.
而射频溅射是很高频率下对靶材的溅射,不易放电、靶材可任选金属或者陶瓷等材料.沉积的膜层致密,附着力良好.
如果寻找本质区别是:直流溅射是气体放电的前期,而射频是后期,我们常见的射频是电焊机.溅射过程所用设备的区别就是电源的区别.
以上就是主要的磁控溅射镀膜设备的溅射方式,希望本文能够让用户对设备更加了解。