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工作原理

旋片式真空泵多为中小型真空泵。旋片式真空泵有单级旋片真空泵和双级真空泵两种。所谓双级旋片式真空泵，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。

旋片式真空泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa 和 1.33×10-1(Pa)下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和 20%。

图二是双级泵工作原理图，它由两个单级泵串联组成。工作时，被抽气体首先经吸气筒进入高真空级。 当吸入气体压强较高时，一部分气体由排气阀2排出，另一部分气体经低真空级，由排气阀1排出。 当吸入气体压强较低时，虽经高真空级压缩，但排气阀2仍不能打开排气，只能经低真空极继续压缩，由排气阀1排出，因双级泵的极限真空比单级泵高。

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把百分表架到泵端，将百分表对零，将对轮旋转一圈，每90度得到一个数值，日本ULVAC出售，后百分表转回其始位时必须回零，左右读数相加应该等于上下数值相加之和。然后根据读数分析出两轴的相对空间位置状况，根据偏差值作出适当调整。首先调整联轴器的左右偏差到允许值，然后调整高低至标准之内。

找正公式：S1= ±(对轮轴向差值(张口)×支脚1到测点距离)÷测点直径±圆周径向插(差)值/2；S2= ±(对轮轴向差值×脚2到测点距离)÷测点直径±圆周径向插(差)值/2。

个±：如果对轮是上张口，取“ ”号；如果是下张口，则取“-”号可理解为从上往下盘；

第二个±：电机低时取“ ”；电机高时取“-” 可理解为从上往下盘 表是正写正 是负写负。

S1是正的话(上张口且电机偏低，说明应该垫垫片，S1数即是要垫的垫片厚度。

另：测点直径为测表点旋转直径，日本ULVAC价格，而不是联轴器直径。调整左右与之类似。

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9、罗茨泵尽量控制罗茨泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证罗茨泵在点运转，才能获得节能效果。