精密加工方法的特点是对表面层物质去除或添加的量可以作极细微的控制。但是要获得超精密的加工精度，仍有赖于精密的加工设备和的控制系统，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大规模集成电路的制版就是采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂（见光刻）进行曝射，使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解)，再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉，制成掩膜。电子束曝射制版需要采用工作台***精度高达±0.01微米的超精密加工设备。
在机械检修中，零件一般都要进行逐个检查，其主要内容可分为以下几个方面：
1)零件几何精度的检查
几何精度包括尺寸精度和形状位置精度，但检修工作有时不是追求单个零件的几何尺寸，而是要求相对的配合精度，这往往是检查工作中重要的一环。
形状和位置精度在检修中常见的有圆度、圆柱度、同心度、同轴度、平行度和垂直度等。
2)表面质量的检查
检修工作中的零件表面质量的检查不于表面光洁度的检查，而是对使用过的零件表面有无划伤、烧损和拉毛等缺陷的检查。
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精密机械零件加工 ***误差。一是基准不重合误差.在零件图上用来确定某一表面尺寸、位置所依据的基准称为设计基准.在工序图上用来确定本工序被加工表面加工后的尺寸、位置所依据的基准称为工序基准.在机床上对工件进行加工时,需选择工件上若干几何要素作为加工时的***基准,如果所选用的***基准与设计基准不重合,就会产生基准不重合误差.二是***副制造不准确误差。
