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吸入管路的安装:管路必须尽量的直和短,二氧化碳储罐,隔热良好,对泵没有作用力,液氧储罐,泵的吸入接管(接头和阀门)的直径相同,接头和阀门被限制到少,朝着泵有不变的向下倾斜度(泵与罐相连接),朝着泵有不变的向上倾斜度(泵与罐不相连接)。需要的接头和阀门,切断阀,安全阀,储罐,柔性管路部分,用于液氧的过滤器(泵仅用在液氧条件下时);在泵的排放管路上的‘止回阀’。 建议在每个支路上安装关断阀、压力表、管径逐渐变化、所有的吸入管路都要避免突然弯曲、非液氧的条件下也采用过滤器、隔热。 有异径管时采用偏心异径,液氮储罐,泵进口采用顶平(防气袋),出口采用底平(防止液袋)。
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特种气体:现代工业“粮食”。特种气体是工业气体中的一个新兴门类,是随着近年来工业、科学研究、自动化技术、精密检测,特别是微电子技术的发展而发展起来的,从应用领域划分,可以划分为电子气体、高纯气体、标准气体。广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体,是原材料之一,可以分为电子特种气体和电子大宗气体,电子气体广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺,被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等材料的“粮食”和“源”。
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安 装 (1) 配管 要谨慎地设计配管,以便在泵运行或停止时,不会将应力传递到泵上。还必须考虑到热胀冷缩。应该安装软管部件,必要时安装臌胀节,以避免将振动传递到泵,或者使泵的法兰承受过大的应力。 控制盘:如果控制盘是散装供货的,接到泵的管路长度必须小于4米,并要尽量地减少弯头。(压力降为100毫巴)。 必须保证接到控制盘的入口管路尺寸要足够,保证足够高的入口气体压力,以满足在有关的“设定值清单”中给出的泵运行期间的密封气体值。
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