




洁净车间应用的行业:
半导体 : 半导体材料提纯作为发展半导体器件的重要基础,由于大规模和超大规模集成电路的工艺要求,为得到高纯度的硅材料,原料和中间媒介的高纯度和生产环境的洁净度成为影响产品质量的一个突出问题。 随着洁净车间在各个行业的普及,实验室洁净室,快速替代了普通的生产车间,洁净车间与普通车间相比,具有哪些特点和优势呢?洁净车间在空气过滤方式、送风量、气压、人员与物品进出管理等方面都有着严格处理方案。
气流***:
一、十万级洁净车间主要采用的送风方式:1、局部孔板顶棚送风 ;2、带扩散板空气过滤器顶棚送风;3.上侧墙送风 等三种送风方式。
二、十万级洁净车间主要采用的回风方式:1、单侧墙下部布置回风口;2、当采用走廊回风时,在走廊内均匀布置回风口或在走廊端部集中设置回风口 。
三、送风口风速(米/秒):1.孔板孔口3~5; 2、侧送风口:⑴贴附射流2~5 ;⑵非贴附射流同侧墙下部回风1.5~2.5,对侧墙下部回凤1.0~1.5 。
四、回风口风速(米/秒):1、洁净室回风口不大于 2;2、走廊内回风口不大于4。
洁净室中的气流速度规定
这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度,在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。
对于乱流洁净室 由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,安庆洁净室,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求;
(1)送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。
(2)吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0.2m/s。
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