








半导体废气处理设备
废气介绍:由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类:酸性废气、碱性废气、有机废气和***废气。
废气危害:半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放,将造成严重的问题,不仅影响人们的身体健康,恶化大气环境,造成环境污染的公害事件等,也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。
废气处理设备处理方法:依据这些废气的特性,在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法,针对不同污染物,vocs废气处理设备,可采取以下综合处理方法:1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统。
对于光,有两个参数:波长与光强。只有吸收了一定波长范围内的光,TiO2催化剂才可以克服其禁带的能量,在其表面会产生电子-空穴。研究结果表明,短波长的紫外光,尤其是在185~254nm,更有利于生成更多的˙OH,印刷废气处理设备,从而加快光催化反应活性。而表示单位时间内、通过单位横截面光能大小的光强,直接决定了紫外光所提供的总能量是否足以使周围的TiO2全部参与到反应中来。所以,光催化过程中要保证反应器内布光均匀且紫外光达到一定强度。
对于催化剂,其活性组分主要是TiO2。其颗粒粒径越小,尤其是纳米级,比表面与反应面就越大,电子-空穴的简单复合率就小,光催化活性也就高;若在TiO2中掺杂金属或非金属粒子,还可拓展其可接受的光照射响应范围;因为锐钛矿型具有强吸附氧气能力,有机废气处理设备,金红石型具有较高的光利用率,二者的混晶型物质在光催化性能方面的表现要比单一晶型物质要好。其它影响光催化活性的因素还包括,孔隙率、平均孔径、表面电荷、焙烧温度、纯度等。
水蒸气也是在光催化反应不可忽视的因素。因为水分子提供了可俘获空穴的羟基,进而产生自由基˙OH,反应中适量的水蒸气有利于反应的进行,但如果水蒸气过多,会在TiO2表面产生竞争吸附,反而不利于光催化的进行。
此外,废气的初始浓度和在反应器内部的停留时间,也直接影响光催化氧化技术的去除效果。从目前的实验室数据结果看,废气处理设备,在各条件优化后的情况下,处理浓度10mg/m3的甲醛尚需30min才能达到70%的去除效率。
废气处理设备的应用领域
化工企业,电厂,煤矿企业,汽车行业等等。
废气处理设备,主要是运用不同工艺技术,通过回收或去除减少排放尾气的***成分,达到保护环境、净化空气的一种环保设备。
比如活性炭塔,PP塔,水洗塔等等,还要看废气的类型是什么,不同的废气成分采用的处理技术也是不一样的。
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