1、成膜温度低。钢铁行业中的热镀锌镀膜温度一般是400℃～500℃，化学镀膜温度更高1000℃以上。这样高的温度很容易引起被镀件的变形、变质，而真空镀膜的温度低，可以降到常温，避免了常规镀膜工艺的弊端。
2、蒸发源选择自由度大。可选择的镀膜材料多而不受材料熔点限制，除了热镀锌中常见的锌、铝、锡外，几乎可以蒸镀所有的金属材料，还可镀种类众多的金属氮化膜，金属氧化膜和金属炭化物及各种复合膜。这为发展新型带钢材料提供了很大的自由度。
与链条式传送机构相比，该机构为刚性传送，不存在齿合不准确问题同时，由于需要的过渡空间小，可以节约真空室之间阀门的开关时间、进一步减少不同真空室之间的气氛互串。因而极大的提高了镀膜工艺稳定可靠性、成品率，降低能耗和成本等。
随着镀膜技术的发展，各类真空镀膜机也逐渐出现，不管是哪种真空镀膜机，薄膜的均匀性都会受到一些因素的影响。现在，我们就以磁溅射真空镀膜机来分析成膜不均匀的因素。
虽然镀膜的光学现象在很早就为人们所注意，但是把光学镀膜作为一个课题进行专门研究却开始于20世纪以后，这主要因为真空技术的发展给各种光学薄膜的制备提供了先决条件。发展到今日，光学镀膜已得到很大发展，光学镀膜的生产已逐步走向系列化、程序化和***化，但是，在光学镀膜的研究中还有不少问题有待进一步解决，光学镀膜现有的水平在不少工作中还不能满足要求，需要提高。