氦质谱检漏仪
一、产品介绍JHS-680A型是一款采用进口检漏仪专用分子泵的液晶触摸彩屏显示的全自动便携式氦质谱检漏仪。设备内芯的制造借鉴国外***技术,关键部件采用国外定制检漏仪专用配件,结构紧凑、性能更稳定灵敏度更高,反应时间快,开机时间短等特点。 二、主要技术指标1.可检漏率:5×10-12Pa?m3/s2. 漏率显示范围:1×10-1—1×10-12Pa?m3/s3. 启动时间:≤5min4. 响应时间:≤1.5s5. 检漏口的压力:1000Pa6. 电源要求:220v,50Hz,单相,10A7. 工作环境:5-35℃8. 相对湿度:≤80%9. 外形尺寸:550(w)×420(D)×320(H)10.重量:42kg 三、主要配置 1. 德国普发检漏仪专用分子泵2. 美国瓦里安机械泵3. 配置标准漏口4. 检漏仪专用电磁阀5. 美国AD放大器6. 采用质谱专用模块
进口检漏仪
一、产品介绍HS600型是一款分体式电厂专用检漏仪。设备内芯采用国外***技术,具有灵敏度高,反应快,开机时间短等特点,是一款液晶触摸彩屏显示的全自动氦质谱检漏仪。 二、主要技术指标
1. 专用分子泵(原装进口)2. 合资机械泵3. 定制检漏仪专用电磁阀4. 内置标准漏口5. 美国AD放大器6. 采用质谱专用模块,双氧化铱金丝,自动切换,自动调氦峰
氦质谱检漏仪的进展
经过近半个世纪的努力,今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。
集中体现在如下几个方面:
(1)便携式:近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。
(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
(4)全无油的干式检漏:有些***生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
(5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,质量范围很宽,不仅可检测氦气,而且能检测其它气体。
分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同,分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。
例如:瑞士、日本采用改变分子泵转速来达到此目的,且提高检漏灵敏度。
另外,逆扩散检漏方式,实现了高压强下检漏,也为正压吸枪检漏提供了良好的条件。