真空检漏设备价格

真空设备检漏与维修

深圳锐诚真空技术有限公司座落于广东深圳，在北京、浙江设有******。是一家专门从事各种真空应用设备制造，集研发、生产和销售于一体的民营高科技企业。主营产品：真空设备，检漏仪，微水仪，lng抽真空系统，非标真空设备，真空标准件以及真空设备的维护***。

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为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如***物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要***行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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旋片真空泵

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旋片真空泵主要由泵体(静子)和转子组成。在转子槽中装有两块以上的旋片，有些泵旋片间还装有弹簧。转子偏心地装在泵腔内，其外缘与泵腔顶部表面的间隙为2~3微米。转子旋转时，在离心力等作用下，旋片沿槽作往复滑动并与泵腔内壁始终保持接触，将泵腔分成两个或几个可变容积的工作室。转子顺时针方向旋转时，与吸气口相通的吸气腔容积由零逐渐增大，腔内气体压力降低，被抽气体便从吸气口源源不断地吸入。同时，与排气口相通的排气腔容积由大变小，吸入腔内的气体被压缩，待气体压力高于大气压力时，推开排气阀排出大气。转子连续转动，泵便不断抽气。

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真空设备氦检漏

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氦分子在质谱检漏仪器高真空的环境中扩散的速度很高，用氦气作示漏气体其本底噪声低，分子质量及粘滞系数小，因而极易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体是无***性、无du、无***，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有氦质谱检漏仪（调整到仅对氦起反应的工作状态）的被检容器上，若容器某一部位有漏孔，则氦质谱检漏仪立即有所反应，从而可知漏孔所在位置及检测漏气量大小。

泄漏和密封是相对而言的，真空检漏设备价格，氦质谱检漏仪检测被检容器的泄漏程度的量化一般用漏率来表示，其计算方法原理如下：

漏率的定义：Q1=Δp×VΔt［1］。

式中：Δp为压强的变化量；V为容器的体积；Δt为时间的变化量。

因此漏率可简单理解为：单位时间内，单位体积容器，压强的变化。

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