氦质谱检漏仪
一、产品介绍JHS-680A型是一款采用进口检漏仪专用分子泵的液晶触摸彩屏显示的全自动便携式氦质谱检漏仪。设备内芯的制造借鉴国外***技术，关键部件采用国外定制检漏仪专用配件，结构紧凑、性能更稳定灵敏度更高，反应时间快，开机时间短等特点。 二、主要技术指标1.可检漏率：5×10-12Pa?m3/s2. 漏率显示范围：1×10-1—1×10-12Pa?m3/s3. 启动时间：≤5min4. 响应时间：≤1.5s5. 检漏口的压力：1000Pa6. 电源要求：220v，50Hz，单相，10A7. 工作环境：5-35℃8. 相对湿度：≤80%9. 外形尺寸：550（w）×420（D）×320（H）10.重量：42kg 三、主要配置 1. 德国普发检漏仪专用分子泵2. 美国瓦里安机械泵3. 配置标准漏口4. 检漏仪专用电磁阀5. 美国AD放大器6. 采用质谱专用模块
氦质谱检漏仪的进展
经过近半个世纪的努力，今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。
集中体现在如下几个方面：
（1）便携式：近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。
（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
（4）全无油的干式检漏：有些***生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。
（5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。
分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同，分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。
例如：瑞士、日本采用改变分子泵转速来达到此目的，且提高检漏灵敏度。
另外，逆扩散检漏方式，实现了高压强下检漏，也为正压吸枪检漏提供了良好的条件。
依据航天器氦质谱真空容器总漏率检测原理，讨论了检漏仪和真空容器直接相连、同真空容器主真空泵并联、在前级泵和主真空泵间等连接方式，逐项研究了总漏率测试的可检漏率、反应时间，分析各种连接方式的应用特点，认为对大型航天器氦质谱真空容器检漏系统，检漏仪连接在前级泵和主泵之间可得到较好的灵敏度和反应时间。通过测量不确定度的分析与评定，确定一般航天器氦质谱真空容器总漏率检测的相对标准不确定度小于10％。
泄漏是航天器的大敌,微小的漏孔也能造成巨大损失。据1957 年~1994 年的不完全统计,国外因泄漏造成发射失败的次数占总失败次数的10%以上。正因为密封失效对航天器是成败和生死攸关的重大问题，各航天***都十分重视检漏技术，力图通过灵敏、可靠的检漏技术，在航天器研制的各阶段发现航天器的泄漏隐患，以提前采取故障排除措施。检漏的任务就是用适当的方法迅速判断航天器泄漏是否是主要矛盾；测定总漏率是否在允许的范围之内；选择合适的方法找出漏孔的确切位置，配合排除故障。
目前航天器单个系统的总漏率测试有压力变化、氦质谱大气积累及氦质谱真空容器等技术，在这些技术和方法中，真空容器检漏技术具有很高的灵敏度，能够对很小漏率的产品进行泄漏检测，普遍应用在国内外航天器检漏中。目前真空容器法检漏大多研究灵敏度，而对检漏仪的连接方式、测试可信度分析较少，本文将在这两方面进行初步尝试。
